Описание

ChaMP является компактной высокопроизводительной системой химико-механической планаризации поверхности. Система предназначена для массового производства полупроводниковых устройств и идеально подходит для встраивания в линию.

Отличительные особенности:

• Малая занимаемая площадь
• Высокая производительность химико-механической планаризации поверхности → Ноу-хау для массового производства
• Возможность адаптации в соответствии со специфическими потребностями пользователя → Система может использоваться в лабораториях, а также на различных производствах от опытного до массового 
• Возможность единовременной полировки нескольких пластин различного размера обеспечивается тем, что система имеет несколько рабочих столиков размерами 50-300 мм.

Опции:

• Подающее устройство для пластин для полной автоматизации процесса 
• Система очистки поверхности
• Функция контроля поверхности отдельных участков пластины

Области применения:

• Шлифовка и полировка пластин 
• Планаризация