Рабочая камера

Нержавеющая сталь, с фронтальной загрузкой, D-формы, 400х400х550 (высота) мм (внешние размеры), 23 базовых фланца (27 мм) для источников и различных вспомогательных инструментов

Источники

До 4-х стандартных резистивных источников с водяным охлаждением, либо сильноточный резистивный источник с замкнутым контуром (конкурирующий с электронно-лучевым источником до 2000°С). До 4-х LTE источников для распыления органических материалов. Электронно-лучевое испарение: 4х7 куб.см или 6х4 куб.см многокарманная пушка с автоматическим выбором кармана для многослойного последовательного осаждения. Распыление: до четырех 3” или 2” магнетронов с опцией автоматического соосаждения. Узел для реактивного ионного травления.

Подложки

Нагрев, охлаждение, наклон и перемещение пластин по вертикали (опции)