Описание:

Установка сращивания чипов позволяет в ручном режиме совместить чипы с последующим приведением их в контакт посредством склеивания или анодного сращивания. Совмещение чипов включает в себя возможность манипулирования тремя линейными осями и тремя осями вращения.

 

Основные возможности:

• 3 линейные оси
• 3 поворотные оси
• нагреваемый до 500 С держатель
• возможна работа с микроскопом для точного совмещения
• безопасность в эксплуатации

 

Точное выравнивание и сращивание двух отдельных чипов, друг с другом, очень часто необходимо для создания трехмерных структур и отдельных устройств при производстве полупроводниковых приборов. 

Система сращивания позволяет вручную совместить и соединить два чипа друг с другом. 

В дальнейшем система приведет их в контакт посредством склеивания или анодного сращивания. Совмещение чипов включает в себя возможность манипулирования тремя линейными осями и тремя осями вращения, что позволяет очень точно совмещать пластины. 

Нижний чип закрепляют на основании, нижнем держателе, верхний чип закрепляется с помощью игольчатого держателя. Оба держателя фиксируют чипы с помощью вакуума, каждый держатель может быть настроен и управляем отдельно друг от друга. 

Для процессов анодного сращивания, нижний держатель включает в себя нагреваемую плиту и подключается к источнику эл. тока. Для процесса анодного сращивание необходимо нагреть сращиваемые чипы и пропустить через них эл. ток. Источник питания для анодного сращивания гибко настраиваем, управляется вручную, он позволяет контролировать и отображать ток сращивания и напряжение. Также этот источник контролирует температуру нагревательной плиты и может ее регулировать. 

Система разработана для исследовательских институтов и может быть адаптирована для различных задач. 

 

 Применения:

• Совмещения пластин и чипов
• Анодное сращивание
• Упаковка
• Различные клеевые процессы (УФ-, эпокси-, температурные, и тд.)    

 

Преимущества:

• Быстрое совмещение
• Безопасное управление
• Может быть сконфигурирован для различных применений 
• Небольшие размеры 
• Легок в эксплуатации

 

Панель управления источника питания: С правой стороны контроллер температуры нагревательной плиты, с левой стороны регуляторы высокого напряжения. Дисплеи отображают силу тока склейки и напряжение.

Панель управления вакуумных держателей. Вакуум для нагревательного держателя и для игольчатого держателя переключается раздельно. Дополнительно уровень вакуума может быть отрегулирован.